シリーズ「東芝メモリを買ってほしいところ、買ってほしくないところ」

2017年4月14日

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湯之上隆 (ゆのがみ・たかし)

微細加工研究所所長

1961年生まれ。静岡県出身。京都大学大学院(修士課程原子核工学専攻)を修了後、日立製作所に入社。以後16年にわたり、中央研究所、半導体事業部、デバイス開発センタ、エルピーダメモリ(出向)、半導体先端テクノロジーズ(出向)にて、半導体の微細加工技術開発に従事。2000年に京都大学より工学博士授与。現在、半導体産業と電機産業のコンサルタントおよびジャーナリスト。微細加工研究所所長。著書に『日本型モノづくりの敗北 零戦・半導体・テレビ』(文春新書)など。

 その理由は、次の通りである。東芝の資材課には、技術者から移籍してくる者がいる。私だったら、技術グループから資材課へ行けと命じられたら、「左遷された」と思うかもしれない。しかし、どうも東芝には、技術者→資材→幹部というような出世ルートがあるらしい(不正会計が発覚して辞任に追い込まれたときの社長の田中久雄氏も調達出身だった)。

 そして、このときドライエッチング部隊からの要請で装置を購入する担当となった者が、元ドライエッチング技術者だったらしい。ドライエッチングの世界にいる(いた)者ならば、次のようなことを良く知っている。

 ラムリサーチとアプライドの間は、人の行き来が激しい。実際、ラムリサーチで装置設計を行った人物が、アプライドに行って装置設計を行ったりしている。その結果、両社の装置は、似たような構造になっている(同じ人間が設計しているのだから似るのは当たり前だ)。

 このことを知っていた元ドライエッチング技術者の資材担当者は、両社に相見積を取った。ここまでは、資材担当者としては当然やるべき仕事をやったに過ぎない。ところが、見積もった結果、ラムリサーチよりアプライドの方が3割ほど安かったらしい。そして、「同じような装置なのだから」という理由で、安い方のアプライドを買ってしまったというわけである。

 東芝のドライエッチング部隊はさぞや驚いたことだろう。選定した装置とは違うものが購入されてきたたわけだから。しかし、東芝のドライエッチング部隊は、選定しなかった(性能が悪い方の)装置を使って孔を開けようと奮闘するのである。しかし、やはり孔は開かなかった。

最後の迷走


 その結果、アプライドの装置を断念し、やっと、念願のラムリサーチのドライエッチング装置を導入することになった。やっと一件落着かと思いきや、最後の迷走が待っていた。

 ラムリサーチのドライエッチング技術には、深い孔を開けるために、ちょっと特殊なガスを添加することにミソがあった。ところが、東芝は二つの理由で、そのガスを使うことを拒否したのである。

 まず第一に、半導体工場では、製造装置へのガスの供給は集中配管システムを採用しているため、ボンベを転がしてきて装置にくっ付ければいいという訳にはいかないのである。

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